洁净室烘箱是专为在洁净室环境中工作而设计的。 洁净室烘箱将包括减少颗粒脱落的功能。 为了达到最高的洁净室等级，通常最好将烘箱安装在洁净室外的 "灰色区域"，以方便维护。 在这种配置中，内部炉室是以 "通过 "的方式通过洁净室墙壁进入的。

可以使用一些标准实验室烘箱来代替洁净室烘箱。 洁净室等级将决定可以使用哪种类型的烘箱。对于ISO 14644-1 5级和6级，可使用专用的洁净室烘箱。这些烘箱包括防止颗粒脱落造成污染的设计特点，如无颗粒硅橡胶门封、全密封绝缘和全封闭无刷风扇电机。

ISO 14644-1适用于洁净室烘箱。它规定了一定体积内颗粒物浓度方面的空气清洁度等级范围。洁净室烘箱的设计要确保其符合这一清洁度标准，并将说明其符合哪种洁净室等级。洁净室烘箱利用设计特点来防止颗粒物质脱落造成的污染。不锈钢内壁和白色环氧树脂漆外壁都很容易清洗。