Viele Anwendungen erfordern eine Wärmebehandlung im Vakuum, z. B. Vakuumlöten, Vakuumglühen, Sintern usw. Im Allgemeinen eignet sich ein Labor-Vakuumofen für die Wärmebehandlung in einer definierten, meist nicht oxidierenden Atmosphäre. Zusätzlich eignen sich Vakuumöfen für Atmosphären mit definierter Sauerstoffkonzentration, die von der Luftzusammensetzung abweicht (z.B. 100% reines O₂). Bei Labor-Vakuumöfen ist die Bandbreite der verfügbaren Gase noch größer, so dass sie sich für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen eignen.

Die einfachsten Modelle benötigen nur einen Stromanschluss für den Ofen und die Vakuumpumpe. Für höhere Temperaturen und anspruchsvollere Anwendungen müssen im Labor verschiedene Gase, Kühlwasser, Druckluft und eine Abzugshaube vorhanden sein.

Der wichtigste Unterschied ist die Größe. Labor-Vakuumöfen sind kompakt und für den Einsatz auch in kleinen Labors konzipiert. Vakuumöfen im industriellen Maßstab müssen in einer Werkstatt installiert werden und werden hauptsächlich für eine bestimmte Anwendung verwendet, wobei ein oder zwei verschiedene Programme für die Chargenproduktion laufen. Dennoch sind Industrieöfen flexibel, falls der Benutzer den Prozess ändern oder optimieren möchte.